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mems陀螺温度补偿

MEMS陀螺仪具有尺寸小、能耗低、质量轻、价格低等

优点，应用广泛，但由于加工工艺的原因，目前微机械陀螺

仪精度相对较低，陀螺仪结构尺寸、材料性质及检测电路中

电子器件均会受温度影响。

在实际监测过程中，运行管道内外温差较大，导致多

MEMS监测系统的核心部件三轴MEMS陀螺仪产生温度漂

移，影响监测到的角速度信号的精确度，从而干扰整个系统

的稳定性和准确性。

因此，对MEMS陀螺仪进行温度补偿至关重要。多

MEMS监测系统的温度补偿，一般可以采取两种方式：一是

增加温控设施，或通过温控电路来降低硬件的温度，但会增

加测量系统的体积；二是通过分析温度误差特性，针对温度

误差漂移规律，建立实时温度误差补偿模型进行温度补偿，

从而提高MEMS陀螺仪的精确度。相对于硬件补偿，建立

温度误差补偿模型进行温度补偿的方法更加简单且实用有

效。