GT 多晶炉维护手册 .pdfVIP

GT多晶炉维护手册.txt20如果你努力去发现美好，美好会发现你；如果你努力去尊重他人，

你也会获得别人尊重；如果你努力去帮助他人，你也会得到他人的帮助。生命就像一种回

音，你送出什么它就送回什么，你播种什么就收获什么，你给予什么就得到什么。Zhenjiang

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GT多晶炉维护手册

GTSolarTechnologies

DirectionSolidificationSystem

(DSS)

ZhenjiangHuantaiSiliconScienceTechnologyco.,Ltd

前言

这本手册有保养，维修GTDSS多晶炉的重要资料。这些资料对于有效率的使用

和保养多晶炉很重要，因此使用前一定要熟读并且了解来预防问题的发生。

手册内容：

前言：安全考量

第一单元：预防性保养

z预防性保养日程安排规阵

z预防性保养程序

第二单元：维修

z更换热电偶和保护层

z安装/拆除DS块

z安装炉闸

z调整低炉和隔热笼的高度

z安装/拆除加热器

z安装/拆除隔热层

z安装/拆除电极管

z清洗氦气阀

z清洗水流探测器

第三单元：故障指导

z解决警铃声响

z解决设备故障

z解决操作问题

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安全考量

安全标志：

以下安全标志将会出现在本手册，来提醒使用者注意特殊情况或告知有可能的危

险。请确保维修人员，安装人员熟悉这些标志。

危险出现此标志代表所讲述的情况很危险，如果不避免的话可能会导致死

亡或严重伤亡。只有合格的人员才能处理此类型状况。

警告出现此标志代表所讲述的情况有危险，会造成重伤。只有在完全了解

了警告的讯息，才能开始进行。

小心出现此标志代表所讲述的情况可能会导致零件故障，中度受伤或资料

遗失。

注意出现此标志代表提供重要的相关资料，提醒或建议。

安全措施：

所有操作人员一定要遵守手册里的安全规范。

z在处理石墨块时一定要戴耐高温手套。

z在硅碇出炉时，硅碇温度大于400℃，绝对不能触碰。

z硅碇在出炉时会快速冷却，这会导致坩埚裂开。操作时请戴工用眼镜。

z设备多处有高压电，高热度部位，请注意设备上的安全标示。

z当接近有高压电处，请确保你有只手放在口袋里。

z操作时请穿橡胶底的鞋子。

z操作时一定要小心，不要自以为是。

z机器不使用时真空泵一定需关上。

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第一单元：预防性保养

z参考用（预防性保养日程表）

z真空测量器校准

大量程的真空测量器

精密的真空测量器

z真空泵系统维修

更换油–机械泵

更换油–罗茨泵

检查轴带

检查在支持泵上的电磁继电器

z底炉下降系统

螺旋启动器

软轴

闸门

离合器

z水电缆

z控制平台

SlimPaks

zSlimPakAC测量

zSlimPakDC测量

z气体流量控制器

z检查比率阀

清洗比率阀

z检查热区

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参考用（预防性保养日程表）

建议依照以下时间表定期执行预防性保养：

维修项目执行时间

真空测量器校准每3个月一次

真空泵系统维修请参照供应商所提供的资料

检查油量一星期一次

更换油–机械泵每6个月一次

更换油–罗茨泵每6个月一次

检查轴带每6个月一次

检查在支持泵上的电磁继电器一个月一次

检查底炉下降系统：

螺旋启动器

软轴

每3个月一次

一个月一次

闸门一个月一次

离合器一个月一次

水电缆每6个月一次

检查控制平台与其附属设备一个月一次

电源供应系统校准每3个月一次

检查SlimPak每6个月一次

检查与校准气体流量控制器一个月一次

检查比率阀一个月一次

清洗比率阀每3个月一次

检查热区一个月一次

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z真空测量器校准–每3个月一次

校准真空测量器通常只是调整较零器和检查在大气层的压力值。更完整的校准需

要专业的仪器与工具，因此须由厂家或专