金属冶炼-三氯化镓.docVIP

Q/LB.□XXXXX-XXXX

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ICS

FORMTEXT77.120.99

CCS

FORMTEXTH66

FORMTEXT?????

中华人民共和国FORMTEXT?????行业标准

FORMTEXTXX/TFORMTEXTXXXXX—FORMTEXTXXXX

FORMTEXT代替XX/T

FORMTEXT三氯化镓

FORMTEXTGallium(III)chloride

FORMTEXT?????

FORMDROPDOWN

FORMTEXT?????

FORMDROPDOWN

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

FORMTEXT???????发布

STYLEREF标准文件_文件编号XX/TXXXXX—XXXX

STYLEREF标准文件_文件编号XX/TXXXXX—XXXX

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件起草单位：广东先导微电子科技有限公司、广西德保镓业有限公司、北大光电东莞研究院有限公司、株洲炬鑫新材料有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、大连科利德半导体材料股份有限公司。

本文件主要起草人：…。

三氯化镓

范围

本文件规定了三氯化镓的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。

本文件适用于以金属镓和氯气为原料，通过氯化法制得的三氯化镓，主要应用于半导体照明有机源合成材料。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

YS/T473工业镓化学分析方法杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法

YS/T666电感耦合等离子体发射光谱法测定工业镓杂质含量

术语和定义

本文件没有需要界定术语和定义。

分类

产品按三氯化镓含量99.99%、99.999%的不同分为二个牌号，分别标记为GTC-04、GTC-05。

技术要求

外观质量

三氯化镓产品的外观质量应符合表1的规定。

表1外观质量

项目

要求

不溶杂质

无

杂色异物

无

颜色

白色或无色透明

化学成分

三氯化镓的化学成分应符合表2的规定。

表2化学成分

牌号

GTC-04

GTC-05

GaCl3（质量分数）

≥99.99%

≥99.999%

杂质金属含量

μg/g

Na

≤20

≤1

Mg

≤5

≤1

Al

≤20

≤1

Ca

≤5

≤1

Cr

≤5

≤1

Fe

≤20

≤1

Ni

≤20

≤1

Cu

≤20

≤1

Zn

≤20

≤1

Ge

≤5

≤1

In

≤5

≤1

Sn

≤20

≤1

Pb

≤20

≤1

Si

≤5

≤1

其他

-

-

总杂质金属含量

μg/g

≤100

≤10

需方如对三氯化镓的技术指标有其他要求，由供需双方协商确定，并在订货单中注明。

试验方法

外观质量

产品外观质量在自然光线下目视检查。

化学成分

Si含量的测定按《YS/T666-2008电感耦合等离子体发射光谱法测定工业镓杂质含量》方法进行，或按供需双方协商确定的方法进行。

产品中Na、Mg、Al、Ca、Cr、Fe、Ni、Cu、Zn、Ge、In、Sn、Pb含量的分析按照YS/T473规定的方法进行，产品中Na也可按供需双方协商确认的分析方法进行。

检验规则

组批

产品应成批提交验收。每批应由相同原料、相同工艺、同一周期生产的相同外观的产品组成，批重不超过1000kg。

检查和验收

产品由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定。

需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验，如检验结果与本文件或订货单的规定不符时，应在收到产品之日起一个月内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，由供需双方协商确定。

检验项目及取样

产品的检验项目及取样应符合表3的规定。

表3检验项目及取样

检验项目

包装状态

抽样方法

制