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MOS 级 Piranha 及 HF 腐蚀清洗通风橱-1.pdf

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    MOS级Piranha及HF腐蚀清洗通风橱-1

    1仪器功能

    MOScleanbench1，位于净化室内的刻蚀区，主要用于湿法清洗，该通风橱配有

    Piranha加热清洗槽、HF清洗槽和QDR（快排冲洗）。

    2样品材料要求

    通风橱配备有6寸和4寸花篮，分别可放置6寸和4寸硅片；小样品可以使用小

    花篮。

    本区域内允许使用的化学品为：HSO,HO,HF

    2422

    3设备培训和参

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