Alpha-Step® D-300 台阶仪操作手册.pdf

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Alpha-Step®D-300台阶仪

1.0仪器功能EquipmentSummary

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。当触针沿被测表面轻轻滑过时,由

于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的

运动情况就反映了表面轮廓的情况。该设备垂直分辨率可以达到0.38A,

对于1微米的标样在无需防震台的情况下重复性小于5A,适用于纳米级

到1200微米的样品的形貌测量。

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