硅多晶用硅粉理化性能的测定 第2部分：浊度的测定 散射光法.docxVIP

是UIICS××××××YS中华人民共和国工业和信息化部发布××××-××-××实施××××-××-××发布硅多晶用硅粉理化性能的测定第2部分:浊度的测定散射光法Determinationofphysicochemicalpropertiesofpolysiliconpowderforpolycrystallinesilicon-Part2:Determinationofturbiditybyscatteredlightmethod（讨论稿）

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中华人民共和国工业和信息化部发布

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硅多晶用硅粉理化性能的测定

第2部分:浊度的测定散射光法

Determinationofphysicochemicalpropertiesofpolysiliconpowderforpolycrystallinesilicon-Part2:Determinationofturbiditybyscatteredlightmethod

（讨论稿）

YS/TXXXX—FORMTEXTXXXX

中华人民共和国有色金属行业标准

ICSFORMTEXT77.040

FORMTEXTCCSH17

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

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引言

工业硅粉广泛用于配制合金、制取高纯半导体材料和有机硅以及其他用途，是现代工业尤其是高科技产业必不可少的材料，应用于硅多晶行业及相关产业。受全球新能源政策的推进，工业硅产业链得到了迅猛发展。

随着产业的进步对于原材料的管控也逐步细化及行业的不断发展，现有的验收标准已经不能满足生产对于原材料控制的要求，不少硅多晶企业提出了更严格的指标参数，以控制硅粉原料的品质，以杜绝铸造杂质、反应过废硅粉掺入硅粉造成工艺大幅度的变化，影响硅多晶生产的稳定性。因此硅多晶用硅粉的指标参数的增加有利于硅多晶生产工艺更好的控制。对于硅多晶用硅粉的指标，硅多晶企业提出增加硅粉活性、硅粉浊度、硅粉有效硅含量等参数的测定，以实现硅粉质量的全方位控制。

《YS/TXXXX-XXXX硅多晶用硅粉理化性能的测定》是硅多晶分析方法的系列标准，对提高硅多晶技术能力和工艺控制水平，满足国内外市场需求有重要意义。

《YS/TXXXX-XXXX硅多晶用硅粉理化性能的测定》由一下几个部分构成：

第1部分：有效硅含量的测定重量法

第2部分：浊度的测定散射光法

随着近年来碳达峰和碳中和的国家政策，硅多晶行业发展迅速需求，本文件的制定对于研究硅多晶用工业硅粉的理化性质、把控产品质量有十分重要的意义，为质量升级提供技术支撑，具有较大的社会效益。

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硅多晶用硅粉理化性能的测定第2部分：浊度的测定散射光法

范围

本文件规定了硅多晶用硅粉浊度的分析方法。

本文件适用于硅多晶用硅粉浊度的测定，测定范围为1NTU～1000NTU。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T8170数字修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T14264半导体术语

GB/T15893.1工业循环冷却水中浊度的测定散射光法

术语和定义

GB/T14264界定的及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

浊度turbidity

硅粉水溶液的悬浮颗粒的数量和大小对光的散射程度的度量。

方法原理

将一定量的硅粉加入纯水溶液中，放入超声波清洗机，在固定频率下超声一定时间，将超声后的硅粉水溶液用滴管加入比色用浊度瓶内，用浊度仪测定。以福尔马肼聚合物作为浊度标准对照溶液，此溶液浊度即为硅粉的浊度。

干扰因素

5.1样品池表