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1.5M 酸碱通风橱（1 号 Liftoff 有机清洗，大样品）标准操作流__程及使用规范.pdf

1.5M 酸碱通风橱（1 号 Liftoff 有机清洗，大样品）标准操作流__程及使用规范.pdf

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    上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP：1.5M酸碱通风橱（1号Liftoff有机清洗，大样品）

    1.5M酸碱通风橱（1号Liftoff有机清洗，大样品）标准操作流

    程及使用规范

    目录

    1.设备功能（ToolFunction）1

    2.设备使用登记（Register）1

    3.设备安全规范（Safety）1

    4.通风橱（FumeHood）4

    4-1设备概述Proc

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