金刚石单晶抛光片讨论稿.docxVIP

ICS?29.045

CCSH82

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXX—XXXX

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

金刚石单晶抛光片

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讨论稿

GB/TXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。

本文件起草单位：安徽光智科技有限公司、哈尔滨工业大学、浙江先导微电子科技有限公司、广东先导稀材股份有限公司、安徽昱升光电科技有限公司、郑州航空工业管理学院、苏州碳真芯材科技有限公司、德州学院等。

本文件主要起草人：

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金刚石单晶抛光片

1范围

本文件规定了金刚石单晶抛光片的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于化学气相沉积法（CVD）制备的金刚石单晶抛光片（包括热沉级、光学级以及探测器级）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T1031-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

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正切值测试方法

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JY/T0573-2020激光拉曼光谱分析方法通则

ISO17560-2014表面化学分析-二次离子质谱法硅中硼深度剖析方法（Surfacechemicalanalysis—Secondary-ionmassspectrometry—Methodfordepthprofilingofboroninsilicon）

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4牌号和分类

4.1牌号

化学气相沉积金刚石单晶抛光片的表示方法为：

D-C-□-IR

表示金刚石类别，R表示热沉级，O表示光学级，T:表示探测器级

D——表示金刚石

C——表示化学气相沉积法；

R——表示热沉级；

O——表示光学级；

T——表示探测器级。

4.2分类

化学气相沉积金刚石单晶抛光片按照材料性能和使用场景可以分为热沉级、光学级、探测器级三类金刚石。

5要求

5.1化学成分

5.1.1热沉级和光学级金刚石单晶抛光片的碳（C）元素含量不应小于99.99%，其它元素不做要求。

5.1.2探测器级金刚石单晶抛光片的化学成分应符合表1的规定。

表1探测器级金刚石单晶抛光片化学成分

碳(C)

杂质含量不大于(x10-9)

氮(N)

硼(B)

≥99.999%

10

5

注1：表中碳含量为100%减去表中杂质总和的差值；

注2：杂质总和为包括且不限于表中所列杂质实测值之和；

注3：表中未列的其他杂质，由供需双方协商确定。

5.2光谱特征

金刚石晶体的拉曼光谱具有1332.5cm-1的拉曼特征峰，如图1所示。

图1金刚石的拉曼光谱

5.3热沉积单晶抛光片要求

热沉级金刚石单晶抛光片的技术要求见表2的规定。

表2热沉级金刚石单晶抛光片的技术要求

性能

热导率（W·m-1K-1）

热膨胀系数（ppmK-1）

粗糙度（R