JJF 氦质谱检漏仪校准规范.pdf

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF××××—202×

氦质谱检漏仪校准规范

CalibrationSpecificationofHeliumMassSpectrometerLeakDetector

（征求意见稿）

××××－××－××发布××××－××－××实施

国家市场监督管理总局发布

JJFXXXX-202X

氦质谱检漏仪校准规范

CalibrationSpecificationofJJF×××—202×

HeliumMassSpectrometerLeakDetector

归口单位：全国压力计量技术委员会

主要起草单位：

参加起草单位：

本规范委托全国压力计量技术委员会负责解释

JJFXXXX-202X

本规范主要起草人：

参加起草人：

JJFXXXX-202X

目录

引言II

1范围1

2引用文件1

3术语和计量单位1

3.1术语1

3.2计量单位1

4概述2

5计量特性2

5.1修正因子2

5.2稳定性2

6校准条件2

6.1环境条件2

6.2测量标准及其它设备3

7校准项目和校准方法3

7.1校准项目3

7.2校准方法3

8校准结果5

9复校时间间隔5

附录A6

附录B7

附录C8

I

JJFXXXX-202X

引言

JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术

语及定义》和JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范制定

的基础性系列规范。

本规范参考了国家标准GB/T13979-2008《氦质谱检漏仪》和GB/T

18193-2000《真空技术质谱检漏仪校准》的部分内容，且参照目前国内外常用

氦质谱检漏仪生产厂家的性能参数及其检测方法，并结合企业实际使用情况进行

制定。

本规范是首次制定的国家计量校准规范。

II

JJFXXXX-202X

氦质谱检漏仪校准规范

1范围

-10-43

本规范适用于氦质谱检漏仪在（1.0×10～1.0×10）Pa·m/s漏率测量范围内的

校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

GB/T3163-2007真空技术术语

GB/T13979-2008氦质谱检漏仪

凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注明日期的引用

文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

3术语和计量