企业竞争图谱：2024年半导体掩膜版 头豹词条报告系列.docx

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企业竞争图谱：2024年半导体掩膜版头豹词条报告系列

刘

刘思瑾·头豹分析师

原材料业/原材料2024-09-27未经平台授权，禁止转载

原材料业/原材料

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行业定义

行业分类

行业特征

发展历程

常见的半导体材料有硅、锗

根据基板材料的不同，掩膜

半导体掩膜版行业的特征包

半导体掩膜版行业

等元素半导体，以及砷化…

版可分为石英掩膜版、苏…

括技术壁垒高、主要原材…

目前已达到4个阶段

产业链分析

上游分析

中游分析

下游分析

ol,行业规模

半导体掩膜版行业规模暂无评级报告

园政策梳理

半导体掩膜版行业相关政策6篇

竞争格局

数据图表

数据图表

SIZE

SIZE数据

摘要半导体掩膜版行业市场规模持续增长，受技术进步、需求增长及政策支持驱动。碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料推动行业发展，但原材料与设备依赖进口。技术壁垒高，涉及精密光学等多领域。行业国际化程度高，企业积极开拓国际市场。疫情曾短暂影响市场，但随后恢复增长。未来，政策支持与国产替代将推动市场规模进一步扩大，减少对进口依赖，增强中国在全球半导体产业链中的竞争力。

摘要

行业定义[1]

常见的半导体材料有硅、锗等元素半导体，以及砷化镓、碳化硅、氮化镓等化合物半导体，其中碳化硅、氮化镓是第三代半导体的代表性材料。掩膜版在微电子生产中扮演着图形传递基础模板的角色，主要用于中高端半导体器件的生产，如集成电路、微机电系统（MEMS）、功率器件等。其功能是通过曝光技术，将设计图样的电路图案转印至下工序的基材或晶圆上，以便进行大规模制造。作为光刻步骤中图形复制的标准和模板，掩膜版是工业设计与生产制造之间的桥梁，其精确度和质量直接关系到最终产品的合格率。掩膜版需具备良好的图案转移能力，包括精确的线宽控制、较小的图案偏差和良好的成像性能。掩膜版是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用

的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。

[1]1：路维光电招股说明书

行业分类[2]

根据基板材料的不同，掩膜版可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他掩膜版(干版、凸版和菲林等)。

石英掩膜版苏打掩膜版半导体掩膜版分类其他掩膜版（菲林）其他掩膜版（凸版）

石英掩膜版

苏打掩膜版

半导体掩膜版分类

其他掩膜版（菲林）

其他掩膜版（凸版）

其他掩膜版（干版）

以高纯石英玻璃为基材，具有高透过率、高平坦度、低膨胀系数等优点，通常应用于高精度掩膜版产品。主要用于平板显示制造和半导体制造等领域。

以苏打玻璃为基材，相比石英玻璃具有更高的膨胀系数、更低的平坦度，通常应用于中低精度掩膜版产品。主要用于半导体制造、触控制造和电路板制造等领域。

菲林是以感光聚酯PET为基材，应用于低精度掩膜版产品。主要用于液晶显示制造和电路板制造等领域。

凸版是以紫外固化聚氨酯类树脂为基材，主要用于液晶显示器（LCD）制造过程中定向材料移印。主要用于液晶显示制造和电路板制造等领域。

干版是以卤化银等感光乳剂为基材，应用于低精度掩膜版产品。主要用于液晶显示制造和电路板制造等领域。

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1：https://www.unibri…

[2]

2：合明科技：《半导体制…

行业特征[3]

半导体掩膜版行业的特征包括技术壁垒高、主要原材料和设备依赖进口、国际化程度高。

1主要原材料和设备依赖进口

此前，全球具备掩膜基板精加工技术的企业主要有日本HOYA和韩国LG-IT两家企业，其余企业不具备掩膜和镀铬等加工能力，这使掩膜版生产厂商精加工后的基板主要依赖进口。石英基板和光学膜技术难度较

大，供应商主要集中于日本等地，各企业的原材料存在一定的进口依赖。目前，光刻机供应商集中度较

高，基本被瑞典Mycronic和德国海德堡仪器两家企业所垄断，中国及国际掩膜版企业对两家生产的设备依赖程度较高。

2技术壁垒高

半导体掩膜版是芯片制造的关键工具，对晶圆光刻的质量有重要影响。随着全球半导体行业快速发展，半导体掩膜版的技术指标要求不断提高，以电子束光刻技术和PSM相移掩模技术等为核心的第三代半导体掩膜版技术现今是实现130nm以下制程半导体掩膜版量产的必备技术。掩膜版行业对技术要求极高，涉及到精密光学、材料科学、电子工程等多个领域的技术。掩膜版行业作为技术密集型产业，在产品研发和生产经营过程中，需要足