直拉单晶棒少子寿命的检测.ppt

关于直拉单晶棒少子寿命的检测检测依据及设备、原理检测作业指导书检测数据分析234采样及其样品处理1检测报告书5第2页,共12页，星期六，2024年，5月

采样及其样品处理

一、采样1、单晶棒2、单晶片：取头部、中部、尾部各三片，要具有代表性二、样品处理1、试样待测面用28~42μm或20~28μm金刚砂研磨或喷砂。2、对圆片试样，用5~14μm氧化铝或金刚砂研磨上下表面。第3页,共12页，星期六，2024年，5月检测依据第4页,共12页，星期六，2024年，5月检测设备Ｘ射线晶体定向仪原理：如果波长为λ的单色X射线入射到晶体上，要使其能在某晶面产生衍射，使得该晶面的放置位置相对于入射X射线来说满足布喇格方程2dsinθ=nλ，对不同结构的晶体和不同的晶面其衍射线出现的方位不同，在与入射线的角度为2θ的位置上便会出现衍射线，根据衍射线的方位就能确定晶体的取向。X射线的性质：感光作用、萤光作用、电离作用、穿透能力强、X射线的折射率近似等于1、衍射作用第5页,共12页，星期六，2024年，5月一台X射线定向仪主要由下几个部份组成：（1）X射线发生部分（2）X射线检测部分（3）样品台及转角测量部分第6页,共12页，星期六，2024年，5月检测作业指导书1、对晶体要求：⑴在检测前首先确认被测晶体是否为单晶；⑵定向前需先判断定向面的大致取向，如无法判定则可先假定一个，逐一实验，直到找到正确晶面；㈢记住样品假定的方向。2、实验仪器：X射线定向仪、硅片第7页,共12页，星期六，2024年，5月

3、实验步骤：①用前，开机预热5-10min；②查表，找与之对应的布喇格角θ；③调节盖革计数管放置在2θ的位置上；④开x光电源，按下开关，调电压，0.8-1.0A之间；⑤开气阀，吸上标准石英，拉开x光挡板，调数率旋钮，摇动手轮找到峰值；⑥换硅片，重复第5步操作；⑦当计数表达到峰值，记下转角，求水平偏离角，旋180?，重复上面步骤，两次测量结果取平均值；⑧将样品位置复原后，旋转90?后，重复操作，测得两个垂直的偏离角，取平均值⑨利用公式，当时，计算出Φ值第8页,共12页，星期六，2024年，5月数据分析第9页,共12页，星期六，2024年，5月第10页,共12页，星期六，2024年，5月Thankyou!第11页,共12页，星期六，2024年，5月感谢大家观看第12页,共12页，星期六，2024年，5月