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GEM400数据处理与优化
数据处理的基本概念
在半导体制造设备控制系统中，数据处理是确保设备高效、稳定运行的关键步骤。数据处理主要包括数据采集、数据清洗、数据转换和数据分析等环节。每个环节都有其独特的技术和方法，需要根据具体应用场景进行优化。
数据采集
数据采集是数据处理的第一步，通常通过设备内置的传感器或外部采集设备来获取实时数据。这些数据可以是设备的状态信息、工艺参数、生产数据等。数据采集的质量直接影响后续的数据处理和分析效果。
采集设备与传感器
半导体制造设备通常配备多种传感器，例如温度传感器、压力传感器、流量传感器等。这些传感器通过设备的通信接
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