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GEM系列E40应用场景

在半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）系列中，E40标准定义了设备与主机之间的通信协议，以便实现设备的高效、可靠和标准化的控制。本节将详细介绍GEM系列E40在半导体制造中的具体应用场景，包括设备状态监控、设备控制、数据采集和分析等，帮助读者理解E40标准在实际生产中的重要作用。

设备状态监控

设备状态监控是半导体制造过程中的一项重要任务。通过E40标准，可以实时获取设备的状态信息，包括运行状态、故障信息、维护需求等。这些信息对于确保生产过程的顺利进行和提高设备的可用性至关重要。

实时状态更新

设备状态监控的核心功能之一是