GEM)系列:SECS-II_(3).SECS-II消息格式.docx

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SECS-II消息格式

1.引言

SECS-II(SemiconductorEquipmentCommunicationStandardII)是半导体制造设备与主机之间通信的标准协议。SECS-II消息格式定义了消息的结构、字段和编码方式,确保设备和主机之间可以高效、准确地交换数据。本节将详细介绍SECS-II消息格式的各个组成部分,包括消息头、数据项和消息体,并通过具体的代码示例来说明其应用。

2.消息头

消息头(Header)是SECS-II消息的固定部分,用于标识消息的类型、长度、源设备和目标设备等信息。消息头的结构如下:

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