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SECS-II与GEM标准的关系
在半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）系列中，SECS-II（SemiconductorEquipmentCommunicationStandardII）是GEM（GenericEquipmentModel）标准的重要组成部分。GEM标准定义了半导体制造设备与制造执行系统（MES）之间的通信协议和数据交换格式，而SECS-II则是这些通信协议的具体实现之一。本节将详细介绍SECS-II与GEM标准之间的关系，以及SECS-II在GEM标准中的作用和地位。
GEM标准概述
GEM标准是由SEMI（Semi
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