半导体制造过程控制系统（PCS）系列：光刻控制系统_14.光刻控制系统的硬件架构.docx

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14.光刻控制系统的硬件架构

14.1引言

光刻控制系统是半导体制造过程中最关键的控制系统之一，它负责确保光刻工艺的精确性和稳定性。硬件架构是光刻控制系统的基础，主要包括光刻机、传感器、驱动器、控制器和通讯模块等组成部分。本节将详细介绍光刻控制系统的硬件架构，包括各个组成部分的功能、连接方式以及如何确保系统的可靠性和高效性。

14.2光刻机

光刻机是光刻控制系统的核心设备，负责将光掩膜上的图案转移到硅片上。光刻机主要由以下几个部分组成：

光源：提供高能光束，常见的光源有汞弧灯、准分子激光器等。

光学系统：包括准直器、投影透镜等，用于聚焦和放大光束。