半导体制造过程控制系统（PCS）系列：离子注入控制系统_（1）.半导体制造过程控制系统的概述.docx

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半导体制造过程控制系统的概述

1.引言

半导体制造过程控制系统（ProcessControlSystem,PCS）在现代半导体工业中扮演着至关重要的角色。随着半导体器件的尺寸不断缩小，对制造过程的精度和稳定性要求越来越高，PCS系统的应用因此变得更加广泛和复杂。本节将介绍半导体制造过程控制系统的概述，包括其基本概念、功能、组成以及在不同制造阶段的应用。

1.1半导体制造过程控制的定义

半导体制造过程控制系统是指在半导体制造过程中，通过自动化和监控技术，实现对各个工艺步骤的精确控制和实时监测的系统。这些系统不仅能够提高生产效率，还能确保产品质