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GEM）系列：E30_（1）.GEM系列：E30概述.docx

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    GEM系列：E30概述

    1.引言

    半导体制造是一个高度复杂和精密的过程，涉及到多种设备和控制系统的协同工作。SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational）为半导体制造设备的通信和控制制定了一系列标准，其中E30标准是SECS/GEM（SemiconductorEquipmentCommunicationStandard/GenericEquipmentModel）系列的一部分，专注于设备的通信和数据交换。本节将介绍E30标准的基本概念、应用范围以及其在半导体制造中的重要性。

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