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GEM系列E40概述
1.引言
1.1背景介绍
在半导体制造领域，设备的控制和通信是确保生产效率和质量的关键。SECS/GEM（SemiconductorEquipmentCommunicationStandard/EquipmentControlandDataCollectioninManufacturing）系列标准是为了实现半导体制造设备与制造执行系统（MES）之间的高效通信而制定的一系列协议和规范。GEME40是该系列中的一个重要标准，适用于半导体制造设备的高级控制和数据采集。
1.2GEME40的适用范围
GEME
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