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GEM400系统架构与设计

引言

在半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）系列中，GEM400是一个高度集成和灵活的系统，旨在满足半导体制造过程中对设备控制和数据通信的严格要求。本节将详细介绍GEM400的系统架构和设计原则，帮助读者理解其核心组件和工作原理。

系统架构概述

GEM400的系统架构基于SEMI（国际半导体设备材料协会）的标准，主要包括以下几个核心组件：

设备控制层：负责设备的基本控制和操作。

通信层：实现设备与主机之间的数据交换。

应用层：提供高级功能和用户界面。

数据管理层：处理和存储设备生成的数据。

安全层：确保系统的安全性和数据