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SECS-I协议基础
1.SECS-I协议概述
SECS-I（SemiconductorEquipmentCommunicationsStandard-I）是一种用于半导体制造设备与主机之间通信的协议。它定义了设备与主机之间的信息交换格式和通信规则，确保两者之间的高效和可靠通信。SECS-I协议主要用于同步通信，采用ASCII编码，通过消息传输实现设备状态的监控和控制。
1.1SECS-I的历史背景
SECS-I协议最早由SEMI（半导体设备材料国际协会）在1980年代提出，旨在解决半导体制造过程中设备与主机之间的通信问题。随着半导体行业的
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