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编程基础与实践
1.SECS/GEM协议简介
SECS/GEM（SemiconductorEquipmentCommunicationsStandard/EquipmentControlModule）协议是半导体制造设备与主机之间通信的标准协议。SECS/GEM协议定义了一种结构化的方式来交换设备状态、控制命令和生产数据。它主要由两个部分组成：SECSI和SECSII。
1.1SECSI
SECSI定义了物理通信层和数据传输协议。它使用EIA-232或HSMS（HighSpeedSECSMessageServices）作为物
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