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GEM300系统架构
1.系统概述
GEM300（GenericEquipmentModel300mm）是半导体制造设备控制系统的标准之一，专门针对300毫米晶圆制造设备。该标准定义了设备与工厂自动化系统之间的通信协议，确保了不同制造商的设备能够在统一的环境中高效运行。GEM300系统架构主要包括以下几个部分：
设备控制层（EquipmentControlLayer）：负责设备的具体操作和控制。
通信层（CommunicationLayer）：实现设备与主机之间的数据交换。
应用层（ApplicationLayer）：处理设备的高级功能和
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