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GEM400核心概念与原理
1.GEM400概述
GEM400是半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）系列中的一个重要标准，旨在规范半导体制造设备与主机系统之间的通信和控制。GEM400标准定义了一套完整的通信协议和控制模型，使得设备和主机系统能够高效、可靠地进行数据交换和控制操作。GEM400标准适用于各种半导体制造设备，包括沉积设备、刻蚀设备、光刻设备等。
GEM400的核心目标是实现设备的自动化控制和数据管理，从而提高生产效率和产品质量。通过标准化的通信协议，GEM400使得不同的设备制造商和主机系统提供商能够更容易地进行集成和互操作。GEM
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