GEM）系列：SECS-I_（3）.数据结构与消息格式.docx

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数据结构与消息格式

在半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）系列中，数据结构和消息格式是实现设备与主机之间通信的基础。本节将详细介绍SECS/GEM系列中常见的数据结构和消息格式，包括它们的定义、使用场景和具体示例。

1.数据结构

1.1.基本数据类型

SECS/GEM协议定义了多种基本数据类型，这些数据类型用于在消息中传输不同的数据。以下是几种常见的基本数据类型：

ASCII(A):表示ASCII字符数据，每个字符占用1个字节。

Binary(B):表示二进制数据，每个值占用1个字节。

Boolean(BOOLEAN):表示布尔值，