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错误处理与故障恢复

1.错误处理的重要性

在半导体制造设备控制系统中，错误处理是确保系统稳定性和生产效率的关键环节。由于半导体制造过程复杂且对环境要求极高，任何未处理的错误都可能导致生产停机、产品质量下降甚至设备损坏。因此，有效的错误处理机制不仅能够快速识别和报告问题，还能够提供故障恢复方案，确保生产过程的连续性和可靠性。

2.错误处理的基本方法

2.1错误检测

错误检测是错误处理的第一步，通过监控系统状态和设备反馈，及时发现异常情况。常见的错误检测方法包括：

状态监控：定期检查设备状态和系统参数，确保它们在正常范围内。

事件监听：通过事件监听机制