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半导体制造过程控制系统（PCS）系列：沉积控制系统

半导体制造概述

在半导体制造业中，沉积控制系统的性能直接影响到最终产品的质量和产量。沉积过程是半导体制造中的一个关键步骤，涉及在基板上形成一层或多层材料，这些材料可以是金属、绝缘体或半导体材料。沉积过程的控制对于实现精确的薄膜厚度、均匀性、成分控制和界面质量至关重要。本节将详细介绍沉积控制系统的基本概念、主要类型、控制参数以及常用的控制方法。

1.沉积控制系统概述

沉积控制系统（DepositionControlSystem,DCS）是半导体制造过程控制系统（ProcessControlSy