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摘要
随着X射线成像技术的发展,高发光效率、高探测效率已经成为X射线成像系
统核心器件闪烁屏的主要性能要求。传统的薄膜晶柱状闪烁屏存在晶柱粘连等问题,
会发生光串扰现象,导致闪烁屏的空间分辨率受到限制。虽然可以通过降低闪烁屏
的厚度保证闪烁屏的空间分辨率,但是这会影响闪烁屏的探测效率。为了保证探测
效率的同时实现高分辨率,基于微通道阵列的X射线闪烁屏应运而生。这种结构闪
烁屏可以在不影响探测效率的情况下提高闪烁屏的空间分辨率。本文开展了基于硅
微通道阵列的X射线闪烁屏技术研究。
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