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2024电子工业超纯水紫外线降解总有机碳系统应用技术规程.docx

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    电子工业超纯水紫外线降解总有机碳系统应用技术规程

    目次

    总则 1

    术语 3

    基本规定 6

    设计 7

    系统设计 7

    紫外线降解装置 10

    离子交换装置 15

    安装与调试 17

    一般规定 17

    安装 17

    调试 19

    检测与验收 21

    系统检测 21

    系统验收 22

    运行维护 24

    运行维护 24

    安全防护 25

    附录A 痕量总有机碳的在线测定方法 26

    用词说明 28

    引用标准名录 29

    附：条文说明 30

    Contents

    General 1

    Terms 3

    Basicspecification 6

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