半导体制造过程控制试题库 - b卷.docx

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半导体制造过程控制试题库

概论

多选题

在同样的条件和环境下,仪器也足够精确,测量同一个芯片的同一个位置的参数时,数值经常不一致,可能是什么原因?

参数固有的随机性

各种噪声导致的

测量仪器的误差

以上都不是

质量参数具有随机性,我们经常用以下哪些方法表示随机模型?

概率质量函数(P)

概率密度函数(PDF)

累积概率分布函数(CDF)

以上都不是

关于产品的质量,下列哪些说法是正确的?

产品的质量参数要在规定的规格区间范围之内

产品的质量参数越接近目标值越好

产品的质量参数的变化越小越好

成本跟质量没有关系

跟传统的质量观念相比,根据田口玄一的质量观,下列哪些叙述是正确的?

质量参数在规定的规格上下限之内是不够的

质量参数偏离目标值越多,质量损失越大

质量参数在规定规格上下限之内的产品,质量都一样好

质量参数在规格上下限之内的产品一定比规格之外的产品质量好

判断题

产品质量的一致性,通常有两个含义:一是在制造阶段,产品符合设计的程度;二是使产品的质量参数保持尽可能小的波动。

产品质量与质量参数的变化成反比,与成本成正比。

从统计学的角度看,只要测量仪器足够精确,半导体制造过程中测量得到的参数都是真实值。

统计基础

单选题

指数分布和泊松分布是相对应的,它们的分布参数之间满足?=1/?,因此

指数分布是连续型的,泊松分布也是连续型的

指数分布是连续型的,而泊松分布是离散型的

指数分布是离散型的,泊松分布也是离散型的

指数分布是离散型的,而泊松分布是连续型的

设F(x0)是随机变量X的累积分布函数,则F(x0)表示

X=x0的概率

X?x0的概率

X?x0的概率

以上都不对

二项分布表示n次相互独立的试验中获得x次成功的概率,假设某过程的产品缺陷率是p=10%,那么抽检2件产品,不超过1件产品有缺陷的概率是:

提示:P(x

81%

18%

99%

以上都不是

多选题

以下有关方差的说法,哪些是正确的?

常用方差表示样本偏离平均值的程度

方差通常用于表示质量的一致性

方差越小质量越高,哪怕参数超出规格界限

以上说法都不对

关于田口的损失函数,以下哪些说法是正确的?

参数超出规定的范围之外,超出越多损失越大

不论参数是否在规定的范围之内,远离目标值越多损失越大

最小损失出现在目标值上

损失函数是参数值偏离目标值的程度的二次函数

关于6σ质量理论,下列哪些说法是正确的?

使产品的质量参数在均值周围6σ的范围内波动

一旦制造过程实施了6σ质量标准,产品就是合格的

6σ意味着每一百万件产品中只有3.4件不合格,不可能实现

在实施6σ质量标准时,6σ范围在产品的质量规格线之内

下列分布中哪些是连续概率分布?

正态分布

泊松分布

二项分布

指数分布

下列分布中哪些是离散概率分布?

均匀分布

泊松分布

二项分布

指数分布

设X是一个随机变量,在[a,b]上服从均匀分布,下列哪些说法是正确的?

X的取值在[a,b]上均匀地分布

X在[a,b]上取任意一个值的概率都相等

X在[a,b]上任意取值,但概率不一定相等

X在[a,b]上取任意一点的值的概率都是1/(b-a)

有关置信区间的置信水平和区间大小的关系,在相同的条件下,哪些说法是正确的?

置信水平越高,区间越小

置信水平越低,区间越大

置信水平越高,区间越大

置信水平越低,区间越小

通常用样本统计值来估计随机变量的分布参数,比如均值和方差,以下哪种说法是正确的?

用样本平均值代替均值,用样本方差代替方差就可以了

用置信区间表示真值可能的范围

用假设检验来判段是否接受该估计值

以上都不对

假设产品的某个参数服从正态分布,概率密度函数是f(x),则以下说法哪些是正确的?

点x0对应的值f(x0)表示随机变量x=x0的概率

曲线下面x0左侧的面积是x?x0的概率

曲线下面x0右侧的面积是x?x0的概率

曲线下面x0右侧的面积是x?x0的概率

判断题

二项分布和几何分布要求每次试验都是独立的。

假设某类芯片上的缺陷数服从泊松分布,其参数为l,表示该类芯片的平均缺陷数是l。

假设某芯片上的氧化硅薄膜厚度服从正态分布,其分布参数分别是m和s,表示该氧化硅薄膜的厚度平均值是m,方差为s2。

f(x0)是随机变量X的概率密度函数,则f(x0)表示X=x0的概率。

p(x0)是随机变量X的概率质量函数,p(x0)表示X=x0的概率。

F(x)是随机变量X的累积分布函数,则F(x0)表示X=x0的概率。

假设产品的某个参数服从正态分布,从产品中抽取n个样本,它们的平均值为x?,方差为S^2,则μ=x?,σ=S。

名词解释

指数分布

泊松分布

伯努利试验

置信区间

计算题

某产品加工需要三道工序,请基于以下条件或业务场景,

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