半导体制造环境控制系统（ECS）系列：气体流量控制系统_（4）.气体流量控制系统的组成与结构.docx

PAGE1

PAGE1

气体流量控制系统的组成与结构

引言

在半导体制造过程中，气体流量控制系统的精确性和稳定性对于确保生产质量至关重要。气体流量控制系统（GasFlowControlSystem,GFCS）是半导体制造环境控制系统（ECS）的重要组成部分之一，主要用于控制和监测气体的流量，确保其在规定的范围内稳定供应。本节将详细介绍气体流量控制系统的组成与结构，帮助读者理解其工作原理和关键组件。

气体流量控制系统的组成

1.气体源

气体源是气体流量控制系统的起点，提供所需的气体。常见的气体源包括：

高压气瓶：用于存储高纯度气体，如高纯氮气、氩气等。

气体发生器：用于