半导体制造环境控制系统（ECS）系列：湿度控制系统_5.湿度控制系统的组成与工作原理.docx

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5.湿度控制系统的组成与工作原理

5.1湿度控制系统的组成

湿度控制系统是半导体制造环境控制系统（ECS）的重要组成部分，其主要任务是确保生产环境的湿度保持在设定的范围内。湿度控制系统的组成通常包括以下几个关键部分：

5.1.1传感器

湿度传感器用于精确测量环境中的湿度水平。常见的湿度传感器类型包括电容式湿度传感器、电阻式湿度传感器和光学湿度传感器。这些传感器通过不同的物理原理将湿度转化为电信号，再由控制系统处理。

5.1.2控制器

控制器是湿度控制系统的核心组件，负责处理来自传感器的信号并根据预设的湿度控制策略进行调整。常见的控制器类型包括PI