半导体制造环境控制系统（ECS）系列：湿度控制系统_14.湿度控制系统的法规与标准.docx

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14.湿度控制系统的法规与标准

在半导体制造业中，湿度控制系统的性能和可靠性直接影响到生产过程的质量和效率。因此，了解和遵守相关的法规与标准是确保湿度控制系统正常运行和符合行业要求的关键。本节将详细介绍湿度控制系统的法规与标准，包括国际标准、国家标准、行业标准和企业标准，以及这些标准的具体内容和要求。

14.1国际标准

国际标准是全球范围内普遍认可的技术规范，这些标准通常由国际标准组织（如ISO、IEC等）制定和发布。在湿度控制领域，以下几个国际标准尤为重要：

ISO14644系列标准

ISO14644-1:空气洁净度等级

该标准定义了洁净室