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碳化硅晶锭生产线项目建筑工程方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、建筑工程要求 2
二、建筑建设原则 5
三、生产车间建设方案 8
四、仓储工程建设方案 11
五、行政办公工程建设方案 13
六、配套设施建设方案 16
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碳化硅晶锭行业近年来发展迅速,随着半导体、光电、汽车电子等高科技行业对高性能材料需求的增加,碳化硅(SiC)作为宽禁带半导体材料,受到广泛关注。碳化硅晶锭作为其基
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