半导体制造环境控制系统（ECS）系列：洁净度控制系统_（8）.压力控制.docx

PAGE1

PAGE1

压力控制

概述

在半导体制造过程中，环境压力的控制是至关重要的。压力控制不仅影响工艺的稳定性和产品的质量，还涉及到生产安全和设备的正常运行。本节将详细介绍半导体制造环境控制系统（ECS）中压力控制的原理和实现方法，包括压力测量、压力控制策略、系统设计和软件实现等方面。

压力测量

传感器选择

在半导体制造环境中，常用的压力传感器类型包括压阻式传感器、电容式传感器和热敏电阻式传感器。选择合适的传感器需要考虑以下因素：

精度：半导体制造对压力控制的精度要求非常高，通常需要达到0.1%FS（满量程）或更高。

响应时间：快速响应传感器可以更好地适应工艺变化，确保