半导体制造环境控制系统（ECS）系列：洁净度控制系统all.docx

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洁净度控制系统的概述

在半导体制造过程中，洁净度控制是确保产品质量和生产效率的关键环节。洁净度控制系统（ECS,EnvironmentalControlSystem）的主要任务是监测和控制制造环境中的颗粒物、有害气体和微生物，以保持高度的洁净度。这些系统通常包括空气过滤、压力控制、温度和湿度控制等模块。本节将详细介绍洁净度控制系统的各个组成部分及其工作原理。

空气过滤系统

空气过滤系统是洁净度控制的核心部分，负责去除空气中的颗粒物。常见的空气过滤器包括初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器（HEPA）和超高效过滤器（ULPA）。这些过滤器按照过滤效率的