半导体制造环境控制系统（ECS）系列：温度控制系统all.docx

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温度控制系统的概述

在半导体制造过程中，温度控制是至关重要的环节之一。温度的变化会影响材料的物理和化学性质，进而影响产品的质量和产量。因此，温度控制系统（TemperatureControlSystem,TCS）是半导体制造环境控制系统（ECS）的重要组成部分。本节将详细介绍温度控制系统的原理、组成和应用。

温度控制系统的组成

温度控制系统主要包括以下几个部分：

温度传感器：用于实时监测环境温度，常见的温度传感器有热电偶、热电阻、红外传感器等。

控制器：根据温度传感器的反馈，调整加热或冷却设备的输出，常见的控制器有PID控制器、模糊控制器等。

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