半导体制造环境控制系统（ECS）系列：洁净度控制系统_（17）.洁净室人员管理.docx

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洁净室人员管理

人员进入洁净室的流程

在半导体制造过程中，洁净室的环境控制至关重要。人员是洁净室内最大的污染源之一，因此必须有一套严格的人员管理流程来确保洁净室的洁净度。以下是一些关键步骤和原理：

更衣室管理：

更衣流程：所有进入洁净室的人员必须先通过更衣室，更换成专门的洁净服。更衣流程通常包括以下步骤：

脱掉外衣：在更衣室外区域脱掉所有外部衣物。

洗手：使用特定的洗手液彻底清洗双手。

换鞋：穿上洁净室专用鞋。

穿上洁净服：包括连体服、帽子、口罩和手套。

检查：确保洁净服无破损且穿戴正确。

更衣室设计：更衣室应分为多个区域，每个区域的洁净度逐渐提高，以减