半导体制造环境控制系统（ECS）系列：气体流量控制系统_（9）.气体流量控制系统的安全措施.docx

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气体流量控制系统的安全措施

在半导体制造过程中，气体流量控制系统（GCS）的安全性至关重要。气体流量控制系统的故障可能导致危险气体泄漏，进而对环境和人员造成严重危害。因此，了解并实施有效的安全措施是确保生产过程顺利进行的关键。本节将详细介绍气体流量控制系统的安全措施，包括硬件和软件层面的保护机制、应急预案以及日常维护和检查。

硬件层面的安全措施

1.气体泄漏检测

气体泄漏检测是气体流量控制系统中最重要的安全措施之一。通过安装气体泄漏检测器，可以实时监测气体的泄漏情况，并及时采取措施。

气体泄漏检测器的安装位置

进气口：确保进气口的气体流量在安全范围内。