半导体制造环境控制系统（ECS）系列：湿度控制系统_2.湿度控制在半导体制造中的重要性.docx

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2.湿度控制在半导体制造中的重要性

2.1湿度对半导体制造的影响

湿度控制在半导体制造过程中至关重要，因为它直接影响到产品的质量和生产效率。在半导体制造的多个环节中，湿度的微小变化都可能导致严重的后果。以下是湿度对半导体制造影响的具体方面：

2.1.1湿度对洁净室环境的影响

半导体制造过程需要在高度洁净的环境中进行，以避免微粒和污染物的干扰。湿度对洁净室环境的影响主要体现在以下几个方面：

微粒控制：高湿度环境下，空气中水分子的增加会导致微粒更容易凝结，从而增加洁净室内的微粒数量。这些微粒可能会附着在晶圆表面，影响产品的性能和可靠性。

静电控制：湿度