半导体制造环境控制系统（ECS）系列：湿度控制系统_11.湿度控制系统的故障诊断与排除.docx

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11.湿度控制系统的故障诊断与排除

在半导体制造过程中，湿度控制系统的稳定性对产品质量有着至关重要的影响。湿度控制系统的故障不仅会导致生产环境的不稳定，还可能对设备和工艺流程造成损害。因此，及时准确地诊断和排除湿度控制系统中的故障是半导体制造环境控制系统（ECS）的重要任务之一。

11.1常见故障类型及原因

11.1.1湿度传感器故障

原因

物理损伤：传感器可能因物理撞击、脱落或损坏而失效。

电气问题：电源波动、线路短路或断路可能导致传感器无法正常工作。

污染：传感器表面可能被灰尘、湿气或其他污染物覆盖，影响其测量精度。

老化：长时间使用后，传感器