电子显微镜的分类和应用.ppt

关于电子显微镜的分类和应用一、电子显微镜的特点和分类二、电子显微镜的应用领域主要内容第2页,共25页，星期六，2024年，5月电子显微镜透射电子显微镜扫描电子显微镜（通常用的）（SEM）（TEM）电子显微镜的分类第3页,共25页，星期六，2024年，5月透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。透射电子显微镜的成像原理透射式电子显微镜镜筒的顶部是电子枪，电子由钨丝热阴极发射出、通过第一，第二两个聚光镜使电子束聚焦。电子束通过样品后由物镜成像于中间镜上，再通过中间镜和投影镜逐级放大，成像于荧光屏或照相干版上。中间镜主要通过对励磁电流的调节，放大倍数可从几十倍连续地变化到几十万倍；改变中间镜的焦距，即可在同一样品的微小部位上得到电子显微像和电子衍射图像。（来自百度文库）电子枪工作原理照明系统光路图第4页,共25页，星期六，2024年，5月透射电子显微镜的结构透射电子显微镜照明系统成像系统观察记录系统由机械泵和扩散泵完成新型电镜用离子泵提高真空速度电子枪加速电子用小电流高电压电源透镜激磁用大电流低压电源EDS（能量散射光谱仪）WDSEELS电子光学系统真空系统供电控制系统附加仪器系统（镜筒）第5页,共25页，星期六，2024年，5月透射电镜的结构图示第6页,共25页，星期六，2024年，5月由透射电子显微镜拍摄的葡萄球菌细胞,放大倍数50000第一台实际工作的透射电子显微镜现在在德国慕尼黑的的遗址博物馆第7页,共25页，星期六，2024年，5月扫描电子显微镜的成像原理扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5～35keV的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。第8页,共25页，星期六，2024年，5月扫描电子显微镜结构扫描电子显微镜真空泵真空柱次级电子探测器X射线能谱分析仪电子枪聚光镜（第一、第二聚光镜和物镜）物镜光阑观察和记录系统真空系统成像系统电子光学系统供电控制系统高压发生装置高压油箱第9页,共25页，星期六，2024年，5月人类细胞放大5000倍的硅藻七层聚酯纤维片石棉纤维第10页,共25页，星期六，2024年，5月项目扫描电镜透射电镜分辨本领70～100?2?发大倍数20～40万倍100万倍加速电压1～50KV几十千伏～几百千伏图像特点景深长、三维立体结构景深小、两维平面结构样品制备固定-脱水-临界点干燥-喷涂金属固定-脱水-包埋-超薄切片-重金属染色样品尺寸1cm350～100nm切片样品损伤光斑直径只有几十埃的电子束在样品上扫描，对样品损伤极小大约1μm直径电子束打到样品上，造成一定程度损伤样品成像信号二次电子、背散射电子透射电子发大倍数调节用衰减器改变扫描线圈电流，进行放大率调节调整中间镜电流改变放大率决定分辨率因素入射电子束直径决定图像分辨率。加速电压、透镜缩小率、电源稳定度及像差决定电子束斑直径加速电压、电源稳定度、像差、样品厚度等影响分辨率第11页,共25页，星期六，2024年，5月第12页,共25页，星期六，2024年，5月材料学中应用（材料分析）断口观察偏析研究彩金研究K金研究第13页,共25页，星期六，2024年，5月医学中应用病理诊断细胞培养修复移植材料在周围组织的扩散情况结石成分分析第14页,共25页，星期六，2024年，5月法学鉴别中应用铁质文物保护枪弹残余物分析头发等中的微量元素分析文件真伪鉴别第15页,共25页，星期六，2024年，5月生物学中应用动物/人体软组织珍珠鉴别微生物观察动物/人体骨骼第16页,共25页，星期六，2024年，5月指导老师毛翔宇版权所有侵权必究第17页,共25页，星期六，2024年，5月病理检查的手段很多,如:HE常规检查、特殊染色(组织化学)、免疫组化、原位分子杂交、聚合酶链反应(P