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TOC\o1-3\h\u12786摘要 I
29630Abstract II
23025第一章绪论 1
172161.1应用背景 1
60261.2缓蚀剂的概况 1
323111.2.1缓蚀剂的定义 1
89621.2.2缓蚀剂的研究现状与进展 2
245391.2.3缓蚀剂的发展方向 2
180631.3缓蚀剂的分类 3
76561.3.1控制部位 3
30591.3.2化学成分 4
251471.3.3物理化学机理分类 4
184541.4咪唑啉缓蚀剂 5
16030
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