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超短脉冲紫外激光加工用场镜

1范围

本文件给出了超短脉冲紫外激光加工场镜产品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于波长340nm～360nm的超短脉冲紫外激光加工场镜产品。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T10987—2009光学系统参数的测定

GB/T13962光学仪器术语

GB/T15313激光术语

ISO21254-1：2011激光和激光相关设备激光导致损伤阈值的试验方法第1部分：定义与一般原则

ISO21254-2：2011激光和激光相关设备激光导致损伤阈值的试验方法第2部分：阈值测定

ISO21254-3：2011激光和激光相关设备激光损伤阈值试验方法第3部分：激光功率（能量）处理能力的保证

ISO/TR21254-4：2011激光和激光相关设备激光感应损坏阈值的试验方法第4部分：检验，检测和测量

MIL—PRF—13830B性能标准

MIL—STD—105E抽样标准

3术语和定义

GB/T13962及GB/T15313界定的术语和定义适用于本文件。

4技术要求

4.1一般要求

产品应按规定审批流程审批通过的图纸及技术文件制造。

4.2原材料要求

产品原材料应符合以下要求：

a)应采用熔石英材料。

b)应符合ROHS要求。

4.3外观要求

产品外观应满足以下要求：

a)不可有划痕、油污、抛光粉尘等；

b)产品表面光洁度应满足以下要求：

1)有效区内：20/10；

2)有效区外：40/20。

4.4尺寸要求

2

产品的尺寸要求为50mm～150mm，公差为±0.02mm。

4.5性能要求

产品的技术参数应满足表1的要求。

表1技术参数

序号

指标

要求

1

焦距

50mm～200mm

2

最大光斑直径（取决于振镜）

10mm

3

扫描范围

30mm×30mm～110mm×110mm

4

透过率

94%

5

损伤阈值

0.2J/cm2@15ps，355nm，800kHz

6

反射率

R＜0.1%@355nmR＜0.2%@345～365nm,A01=0～15°

5试验方法

5.1原材料试验

产品原材料来料检验应符合：

a)产品原材料应有合格的质量证明文件；

b)产品原材料应符合国家法律法规及国家标准和行业标准要求；

c)应根据检验标准进行来料测试，符合相关检验标准要求方可使用。

5.2外观试验

按照美国军用标准MIL—PRF—13830B标准所述步骤进行。

5.3尺寸试验

性能试验5.4运用误差不大于0.01mm的量具测量。

性能试验

5.4.1技术参数

5.4.1.1焦距

按照GB/T10987—2009规定方法进行。

5.4.1.2最大光斑直径

通过在平面物体（如激光相纸）上进行打标，对打标图案进行实际测量。

5.4.1.3透过率

运用分光计测量。

5.4.1.4损伤阈值

按照ISO21254系列标准所述步骤进行。

5.4.1.5反射率

运用分光光度计进行检测。

6检验规则

6.1出厂检验

6.1.1按MIL—STD—105E的规定，采用正常检验单次抽样方案，一般检验标准Ⅱ级，允收标准（AQL）

3

为2.5。不良品超过允收限值（AQL），则判定该批产品不合格。

6.1.2出厂检验项目包括本标准中的4.3、4.4。6.2型式检验

6.2.1属下列情况时，应进行型式检验：

a)新产品或老产品转厂生产试制定型时；

b)产品设计、工艺、材料作较大修改，可能影响产品性能时；

c)产品停产3年以上，恢复生产时；

d)国家质量技术监督、检测机构提出要求时。

6.2.2型式检验项目包括本标准第4章的全部项目。

6.2.3型式检验的样机的抽样方案按MIL—STD—105E的规定，采用正常检验单次抽样方案，一般检验标准Ⅱ级，允收标准（AQL）为2.5。不良品超过允收限值（AQL），则判定该批产品不合格。

6.2.4判定规则

检验结果中，若有不符合要求的项目，允许返工，复检后，该项目符合要求，则判为“合格品”，该项目仍不符合要求的，则判为“不合格品”。

7标