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半导体材料检测种类、检测项目与检测方法总结

半导体材料检测是对半导体材料的特性参数进行分析测试的技术，具体涉及

到哪些材料的检测，目前常见的检测技术有哪些？我们不妨一起来看看。

半导体材料检测是对半导体材料的特性参数进行分析测试的技术，由于半导

体材料种类繁多，加工工艺复杂，形态各异，技术难度高，这就需要我们通过对

半导体材料的特性参数进行测定，真实的反映半导体材料质量情况，掌握其关键

参数的生成工艺，从而指导研发技术的更新迭代。

常见半导体材料检测种类

1、湿电子化学品检测种类

（1）酸碱类：高纯盐酸、高纯硫酸、高纯硝酸、高纯氢氟酸、高纯冰Z酸、

高纯草酸、电子级复水、电子级过氧化氢、氢氧化钾溶液、氢氧化钠溶液、电子

级磷酸；

（2）蚀刻类：铝腐蚀液、铬鹰蚀液、镍银腐蚀液、硅腐蚀液、金蚀刻液、

铜蚀刻液、显影液、剥离液、清洗液、ITO蚀刻液、缓释剂、BOE；

（3）溶剂类：甲醇、乙醇、异丙醇、丙酮、四甲基氢氧化铵、甲苯、二甲

苯、三氯乙烯、环已烷、N-甲基吡略烷酮、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚醋酸酯

等。

2、光刻胶及配套试剂检测种类

光刻胶、负胶显影液、负胶漂洗液、负胶显影漂洗液、正胶显影液正胶稀释

剂、边胶清洗剂、负胶剥离液、正胶剥离液等。

3、电池材料检测种类

（1）负极材料：碳材料、非碳负极材料、石里负极材料、锂电池负极材料、

硅负极材料、锂离子负极材料、硅碳负极材料、碳素负极材料、沥青负极材料等；

（2）正极材料：钻酸锂、锰酸锂、磷酸铁锂、三元材料、镍，钻，锰酸锂、

镍锰酸锂、正极材料镍钻锰酸锂等；

（3）电解液：锂离子电池用电解液、锂原电池用电解液、六氟磷酸锂、六

氟磷酸锂电解液等；

（4）电池/电解液添加剂：成膜添加剂、导电添加剂、阻燃添加剂、过充保

护添加剂、改善低温性能的添加剂、多功能添加剂等；