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目次
1总则.1
2术语.2
3基本规定.4
4规划选址.6
5工艺设计.7
5.1实验室分类.7
5.2受控环境要求.8
5.3实验室布局.8
6工程设计.10
6.1建筑设计.10
6.2结构及防微振设计.11
6.3公用系统设计.12
6.4实验室辅助设计.13
7施工与调试.14
7.1一般规定.14
7.2施工要求.14
7.3调试要求.错误!未定义书签。
8检测与验收.16
8.1工程检测.16
8.2工程验收.21
附录A几何量测量实验室受控环境要求错误!未定义书签。
附录B几何量测量实验室综合性能检验方法错误!未定义书签。
附录C几何量测量实验室工程验收检查项目错误!未定义书签。
本标准用词说明.错误!未定义书签。
引用标准名录.错误!未定义书签。
附:条文说明.错误!未定义书签。
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