雷尼绍干涉仪使用方法ML-80 .pdfVIP

一、本次我们主要研究：如何检测机床的螺距误差。因此我们主要的任务在于：

1.应该使用什么仪器进行测量

2.怎么使用测量仪器

3.怎么进行数据分析

4.怎么将测量所得的数据输入对应的数控系统

二、根据第一点的要求，我们选择的仪器为：Renishaw激光器测量系统，此仪器检测的范围

包括：

1.线性测量

2.角度测量

3.平面度测量

4.直线度测量

5.垂直度测量

6.平行度测量

线性测量：是激光器最常见的一种测量。激光器系统会比较轴位置数显上的读数位置与激

光器系统测量的实际位置，以测量线性定位精度及重复性。

三、根据第二点的解释，线性测量正符合我们检测螺距误差的要求。因此，我们此次使用的

检测方法——线性测量。

总结以上我们的核心在于：如何操作Renishaw激光器测量系统结合线性测量的方法进行检

测，之后将检测得到的数据进行分析，最后将分析得到的数据存放到数控系统中。这样做的目的在

于——提高机床的精度。

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第二章、基础知识

2.1什么是螺距误差？

开环和半闭环数控机床的定位精度主要取决于高精度的滚珠丝杠。但丝杠总有一定螺距误差，

因此在加工过程中会造成零件的外形轮廓偏差。

由上面的原因可以得知：

螺距误差是指由螺距累积误差引起的常值系统性定位误差。

2.2为什么要检测螺距误差？

根据2.1节，检测螺距误差是为了减少加工过程中造成零件的外形轮廓偏差，即提高机床的精

度。

2.3怎么检测螺距误差？

（1）安装高精度位移检测装置。

（2）编制简单的程序，在整个行程中顺序定位于一些位置点上。所选点的数目及距离则受数

控系统的限制。

（3）记录运动到这些点的实际精确位置。

（4）将各点处的误差标出，形成不同指令位置处的误差表。

（5）多次测量，取平均值。

（6）将该表输入数控系统，数控系统将按此表进行补偿。

2.4什么是增量型误差、绝对型误差？

①增量型误差

增量型误差是指：以被补偿轴上相邻两个补偿点间的误差差值为依据来进行补偿

②绝对型误差

绝对型是误差是指：以被补偿轴上各个补偿点的绝对误差值为依据来进行补偿

2.5螺距误差补偿的原理是什么？

螺距误差补偿的基本原理就是将数控机床某轴上的指令位置与高精度位置测量系统所测得的

实际位置相比较，计算出在数控加工全行程上的误差分布曲线，再将误差以表格的形式输入数控系

统中。这样数控系统在控制该轴的运动时，会自动考虑到误差值，并加以补偿。

采用螺距误差补偿功能应注意：螺距误差补偿功能的实现方法又有增量型和绝对型之分。所

谓补偿就是指通过特定方法对机床的控制参数进行调整，其参数调整方法也依各数控系统不同而各

有差异。

第三章、认识激光干涉仪

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本次试验我们使用的仪器为：Renishaw激光器测量系统

3.1激光干涉仪是由什么硬件组成

3.1.1什么是硬件？

硬件：硬件就是我们看到的一堆由金属、塑料等材料堆成的被称之为“Renishaw激光干涉

仪”的东西(事实上，它是由一些机壳和电路板等物构成)。因为是一些看得见、摸得着的东西,又因

为都是“硬”的，所以被人们形象地称为“硬件”。

3.1.2具体硬件名称以及各自的用途是什么？

一、本次使用激光检测仪主要检测螺距误差，因此我们主要使用到以下的仪器：

（1）ML10激光器

RenishawML10GoldStandard激光器

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