有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共11页，其中可免费阅读4页，需付费70金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
《磁控溅射CrAlSiN硬质膜高温性能研究》
一、引言
随着现代工业技术的不断发展，对材料的高温性能要求越来越高。磁控溅射技术作为一种重要的薄膜制备技术，被广泛应用于制备各种功能性薄膜。其中，CrAlSiN硬质膜因其优异的硬度、耐磨性、耐腐蚀性和高温稳定性等特性，受到了广泛关注。本文将针对磁控溅射CrAlSiN硬质膜的高温性能进行深入研究，旨在探究其在高温环境下的性能表现和应用前景。
二、实验部分
（一）材料制备
采用磁控溅射技术制备CrAlSiN硬质膜。选用高纯度的Cr、Al、Si和N等元素作为靶材，通过调整各元素的溅射比例，控制膜层的成分和结构。在适当的溅射功率、气压和基底温度等工艺参数下
文档评论（0）