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    引言１

    第一章MEMS技术概要２

    技术的发展２

    技术发展的浪潮２

    第二章MEMS传感器分类及典型应用３

    加速度计４

    压阻式微加速度计４

    电容式微加速度计４

    压电式微加速度计４

    微压力传感器.５

    陀螺５

    微气体传感６

    微温度传感器.６

    第三章国内外MEMS传感器的标准化目前概况６

    MEMS传感器标准化国内概况６

    MEMS传感器标准化国外概况７

    第四章对我国MEMS传感器标准发展对策的几点建议７

    推出我国自主创新的MEMS传感器标准７

    加强标准化工作的国际合作８

    加强MEMS传感器标准化工作管理８

    第五章总结８

    参考文献９

    致谢１０

    摘要

    MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器,具有很多新的特性,相对传

    统传感器其具有更大的优势。MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。在追求微型化

    的当代,其具有良好的发展前景,必将受到各个国家越来越多

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