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YS/T××××—××××
锇靶材
1范围
本文件规定了锇靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、随行文
件和订货单内容。
本文件适用于微波电真空领域阴极镀膜用锇靶材。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件，不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值
GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法
GB/T6394金属平均晶粒度测定方法
GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T23613锇粉化学分析方法.镁、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、铱、钯、铑、硅量的测定电
感耦合等离子体原子发射光谱法
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4分类
4.1产品分类
锇靶材按成分分为MC-Os99.95、MC-Os99.99两个等级。
锇靶材按形状分为圆盘状、矩形等。圆盘状直径主要有50.8mm、76.2mm等，厚度为3mm~6mm。
锇靶形状还可提供矩形等。经供需双方协商，可提供其他形状及规格的锇靶材。
5技术要求
5.1化学成分
1
YS/T××××—××××
锇靶材的化学成分应符合表1的规定。锇含量（质量分数）为100%减去表1中所列杂质实测值的
余量。需方对某种特定元素含量有要求的，由供需双方协商确认。
表1锇靶材的化学成分质量分数%
牌号MC-Os99.95MC-Os99.99
锇含量，不小于99.9599.99
杂质含量，Mg0.0020.001
Al0.0100.005
不大于
Si0.0200.010
Fe0.0200.005
Cu0.0020.001
Ni0.0020.001
Au0.0010.0005
Ag0.0010.0005
Pt0.0010.0005
Rh0.002
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